焦深相关论文
光刻技术中的聚焦控制对曝光质量有直接的影响。曝光过程中，为保证良率，曝光区域需要时刻处于焦深范围内。通过建立数学模型，探讨了光......
随着信息化的进步,由于传统的光子学器件受到衍射极限的限制,信息传输质量不佳,人们开始走向了基于广义光学折反射定律的超表面的......
高倍显微镜的使用是高中生物核心实验能力之一,对高倍显微镜的高倍镜、准焦螺旋等的使用规范及其原理进行深入分析探讨,可以帮助广......
提出了一种具有增大焦深特性的改进型分形波带片(FZP)。分析并推导了改进型分形波带片基于优化参数w的周期公式；计算了改进型分形波......
采用同轴数字全息技术测量研究粒子场, 由于直透光、孪生像等因素的影响, 以及焦深(DOF)通常是粒子直径的数十倍以上, 造成了粒子......
数字微镜器件(DMD)应用于会聚成像光路中时,其表面微镜绕各自旋转轴做偏转运动,且微镜相对平面反射镜呈非连续分布,这导致了经过DM......
基于光学传输矩阵实现透过散射介质进行聚焦和成像是近年来光学领域的研究热点。为了测量得到散射介质的光学传输矩阵，并利用光学传......
Optical systems are analyzed with three kinds of rotational symmetric pupil masks: annular Gaussian ring mask, supergaus......
变焦光学系统在连续变焦过程中, 由于变焦曲线的计算和加工精度, 导致实际像面离焦, 成像质量下降。变焦系统的特点是长焦距对应窄......
目的 探讨白内障联合人工晶状体(IOL)植入术后全眼球差对焦深及客观视觉质量的影响.方法 回顾性病例研究.收集2011年9月至2012年3......
为了提高近场固体浸没透镜（SIL）光存储系统的焦深，设计了五区振幅-相位杂化的滤波器。设计建立在矢量衍射理论基础上，应用MATLAB优化工......
一、引言随着大规模集成电路(LSI)向着超大规模集成电路(VLSI)发展,即要求每一基片上集成十万个元件以上、一万门电路以上,对图象......
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理．建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟......
全息三维显示使用计算机编码技术,对三维物体信息进行编码,然后加载到相应的显示器件显示三维物体信息,作为一种真三维显示技术,近......
目的:介绍作者所在的实验中心近年来对于黄斑区和近周边视网膜区(≤8 °)模糊认知感的研究结果.方法和结果:先后介绍三个实验.实验......
本文扼要地阐述了一种既能提高显微镜的分辨本领又能延拓其焦深的新方法——编码源法,并给出理论依据和实验结果,实验证明:这种方......
本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:......
波前编码技术通过在光学系统光瞳位置加入特殊的相位掩模板,对目标信号光波进行编码调制,并在图像处理端对该编码信号进行解码而恢......
为了增大传统光学系统的焦深，使其适应不同工作条件下的大焦深要求，通常的做法是减小光学系统的光圈数，该方式对获取图像的直接影响就......
介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统 ,其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置 ,可方便取放滤波器。在理论分析的......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
期刊
利用三维脉冲响应函数和三维光学传递函数理论，分别从空域和频域两方面分析了共焦显微镜焦深的分布及其对共焦显微镜纵向分辨率的影......
提出空间滤波器的透镜焦距需同时满足真空度和透镜球差最小的要求，滤波小孔的发散角必须小于某一定值才能有效滤除高频分量，并由此计......
简要介绍了CMOS模组调焦的基本原理。在分析传统调焦方法的基础上,提出了用双光源标板进行调焦的新方法,同时测量CMOS中心像场近距......
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系......
焦深是表征成像系统性能的重要参数。基于透镜相干成像的焦深判据，利用数值积分和计算机模拟的方法，分析和推导了菲涅耳数字全息成像......
考虑了在固体浸没透镜（SIL）的球面表面的反射，应用矢量衍射理论比较分析了半球形固体浸没透镜（h—SIL）和等光程的超半球形固体浸没透镜（s......
1概念1.1什么是调节人眼通过改变晶状体的屈光力使近处物体聚焦于视网膜上的能力称为调节。1.2什么是调节刺激诱发个体发生调节的......
对用于需要微米级线宽的平板显示器件、光电子与微电子产品等工业化生产中的激光投影成像（LPI）装置中的激光投影系统和激光照明系统......
焦深是指在保持影像较为清晰的前提下，焦平面沿着镜头光轴所允许移动的距离范围．在薄透镜的焦距测量实验中，必须严格测定物距和像距才......
本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术.主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较,并......
<正>至今光刻技术仍是工业用来制作集成电路的优先应用技术.过去光刻的分辨率是靠减小曝光波长和增大透镜的数值孔径来改善的(R=k_......
传统的凸轮调焦机构和丝杆丝母调焦机构存在结构复杂;加工、装调难度大;在传动链中引入齿轮传动,不可避免的会产生空回现象,进而导......
当衍射光学元件的特征尺寸可以与照射光波长比拟时,必须考虑光波矢量衍射特性.利用矢量分析方法--二维时域有限差分法(FDTD)对有限......
在对3维粒子场全息图的数值重构过程中，为了提高和改善聚焦粒子再现像的对比度，减小直透光、孪生像以及离焦粒子像的影响，采用了1种数......
为了研究参考光波面形状对于测量透镜焦距值的影响,采用数字全息的方法进行了理论分析和实验验证。通过在两种色光下进行实验,分别......
以加工焦深限制范围内的倾斜平面模型来模拟工件表面的微观不平坦状况，对激光束以一定倾角入射工件表面的光斑畸变及其对刻蚀质量的......
通过几何光学理论分析,将圆锥透镜对于不同曲率半径球面波的衍射模式分为球面波通过锥镜后光束完全会聚和部分会聚两种情况.使用半......
对传统自准直法的凹透镜焦距测量方法进行了分析，提出改进的自准直测凹透镜焦距方法．将移像屏法改进为移凹透镜法，消除了焦深对实验测......
在考虑了半球型固体浸没透镜（h-SIL）内部的反射，应用矢量衍射理论分析了色散对h-SIL的透射场特性的影响。对应不同波长的照明光，h-SIL......
研究了同轴分区相位板对双陷余弦高斯光束焦点区域光强分布和焦深的影响。相位板由三个同心圆域组成：中心圆区，内圆环，外圆环。其相位......
为了提高近场固体浸没透镜光存储系统的焦深,设计了三区三元相位滤波器。设计建立在矢量衍射理论基础上,应用MATLAB优化工具箱优化......
对分区位相型大焦深超分辨光瞳滤波器的容错性能进行了分析研究。给不同区域以不同的位相误差,对焦点区域的光强分布特性进行了分......
在阐述投影成像光刻光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了滤波成像光刻图形质量影响因素.指出影响图形质量的因素......
