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激光直接写入设备相关论文

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会议

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用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构

在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为......

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激光直接写入设备纳米分辨力调焦伺服机构

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