非球面检测相关论文
随着光学非球面元器件加工技术水平的不断提高,其在各相关领域内的应用也愈发广泛,然而,面型误差仅为纳米量级的精密非球面的加工......
非球面光学元件,特别是其中的自由曲面元件,在设计自由度上相比于球面具有很大的优势,基于非球面构建的光学系统能够以简单的光机......
在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中, 随着数值孔径的增加, 非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测, 一......
光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理，结合校正方法将其......
针对F 数为4 的高次非球面，设计了一套基于平行光束照射的高精度补偿器。系统工作波长为632.8 nm，设计残差为0.0018 λ 。提出了求解......
用计算全息图(CGH)检测非球面时，除了设计零位补偿CGH 外，还往往设计辅助调节CGH，从而可以利用干涉图来精确调节CGH 的位置。针对这种......
为了精确地检测非旋转对称的非球面面形质量,将衍射补偿元件计算全息图(CGH)应用到非球面透射式检测光学系统中。利用计算全息图(C......
零位补偿检验是现代光学用于检测非球面的主流方法。根据实际检测需要，提出既可进行补偿检验，又可进行干涉检验的一种新型干涉零位补......
本论文基于计算全息法检测非球面这一应用背景，研究了一种高精度纯位相型计算全息编码方法，通过对不同类型的非球面进行数学公式推导......
在光学系统中采用非球面光学元件,不仅可以减少光学元件的数量和减轻重量,缩小系统的尺寸,简化仪器结构,而且有利于校正像差,改善......
随着非球面加工制造技术的不断发展,越来越多的消费电子产品、国防光电系统以及航空航天成像系统采用非球面光学元件以提高产品的......
表面特征参数的在位检测对生产过程控制可提供十分有用的信息,从而可在制造过程中直接调节加工参数.检测要求取决于应用领域.对于......
非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的......
本论文基于计算全息法检测非球面这一应用背景，研究了一种高精度纯位相型计算全息编码方法，通过对不同类型的非球面进行数学公式推导......
对于大口径非球面的高精度检测，现有的大口径干涉仪价格昂贵，而且横向分辨率往往不够，而高精度干涉仪的口径往往较小，无法满足大口径非......
随着非球面光学元件的设计和加工技术的发展，对非球面光学元件的面形及其参数的检测提出了更高的要求。在已有高精度检测仪器的条件......
光学制造技术、精密机械加工、计算机辅助设计装调技术的发展，使非球面的制造和应用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和检测上......
非球面的检测技术一直是制约其得到广泛应用的难题。本文针对非球面高精度检测，在总结现有检测方法的基础上，设计了基于波带板干涉法......
非球面能够有效地改善光学系统的性能，其面型高精度大数据量的检测技术，是目前推动非球面广泛应用的重要研究内容。 在已开展的相......
合成式波前编码器件(或合成式相位板)是一种非旋转对称式非球面,它是由三次相位面面形和凸双曲面面形相叠加而成,具有相位编码功能......
在光学系统中采用非球面光学元件能提高像质，简化仪器结构，减少仪器的体积和重量。但是由于非球面面形的复杂性和多样性，使得其检测非......
在光学研究领域中，非球面因其能够缩小光学系统外型尺寸，减轻仪器重量，提高光学性能，改善成像质量，因而被广泛应用于现代光学系统中。但......
大口径非球面光学器件加工和检测都具有很大的难度，尤其是大口径非球面检测这一薄弱环节，已经成为制约其应用和发展的“瓶颈”因素之......
根据圆形计算全息图的衍射特性,将曲面圆形计算全息图与补偿镜相结合,应用于凹非球面折射式零检测光学系统中。与传统的折射式零检......
横向剪切干涉检测方法用于非球面加工过程中检测是经济且高效的方法.从数值模拟的角度,分析了基于像差最小原则的非球面度;模拟了......
大型凸非球面的传统检测方法使用的是背部检验.当零件需使用特殊材料(如采用碳化硅)时就无法再使用传统的背部检验方法,针对此问题......
在分析测试原理的基础上,指出了现有方法的横向剪切量获得的不足,根据剪切图和Radon变换在边缘处具有突变的特点,提出了一种基于Ra......
大口径凸非球面的传统检测方法是使用背部检验。在分析各种传统检测方法的基础上,研究了一种新的检测方法,即用二元光学元件检测大......
光学非球面检测中,非零位补偿干涉法因其偏离零位条件,返回波前具有较大像差。其成像系统将因此引入新的像差,影响检测结果。分析......
非球面顶点半径和二次常数干涉测量是对二次曲面离轴子孔径在弧矢、子午和中间焦点位置直接干涉测量,拟合得到初级像差系数,并结合......
基于计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)的非球面检测技术通过控制衍射光相位来生成所需要的参考波前,从而实现非球面的......
在分析各种传统检测方法的基础上，研究了小口径非球面的检测方法，给出了设计实例，实现了非球面曲面的光学检测，满足了非球面曲面在工程......
为了解决当大口径的凸非球面使用特殊材料（如采用碳化硅）时，无法使用传统的检测方法——背部检验的矛盾，研究了使用计算全息法（CGH）来检......
非球面与球面相比具有更好的光学性质，应用越来趣广泛，但一直受到光学加工和检测技术的限制。用计算全息的方法对非球面进行干涉检测......
非球面与球面相比具有更好的光学性质，应用越来越广泛，但一直受到光学加工和榆测技术的限制。朋计算全息的方法对非球面进行干涉检测......
非球面在光学系统中占有重要的地位,但其应用一直受到光学加工和检测技术的限制。波带板（Zone plate）法是对非球面进行检测的重要方......
通过对凸非球面检测过程中各部分元件对波面影响情况的分析,导出了球面计算全息图各衍射级次空间频率和滤波光阑最小孔径的计算公......
针对常规非球面检测技术存在的问题,特别是测量高精度工件表面具有一定的局限性,提出一种非接触式测量技术,即自动对焦测量技术.自......
针对非球面高准确度检测的难题，设计了基于波带板干涉法的共光路干涉系统．阐述了干涉仪的测量原理，实验中针对曲率半径R=103．26mm，口径D......
为了精确检测大口径非球面面型质量，将CGH作为补偿器应用于凹非球面的离轴全息检测系统中。根据计算全息图的离轴全息检测系统检测......
为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分......
在高数值孔径（NA）投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是......
分析使用多种透镜组合成补偿镜对非球面进行背部检验,在各种传统检测方法的基础上,研究了一种新的检测方法——使用二元光学元件（CG......
凸非球面，尤其是大口径快焦比凸非球面的光学检验一直是非球面加工中的难点。针对凸非球面光学元件加工检验困难的问题，研究了一种改......
为解决高精度检测非球面反射镜的难题,提出利用Zygo干涉仪完成非球面环形子孔径检测。通过移动待测非球面,使得由干涉仪产生的参考......
光学制造技术的发展，尤其是非球面加工技术的兴起，促进了空间光学的发展，大视场、高分辨率、长焦距的航天相机离轴三反系统设计的引进......
针对未知设计参数的旋转对称非球面,讨论了面型参数的拟合方法,对轴对称非球面设计参数测试技术进行了研究。利用接触式探针轮廓仪......
研究了利用曲面计算全息图进行非球面检测.分析了曲面计算全息图的衍射特性,给出了曲面计算全息图与传统检测方法相结合检测凹非球......
