激光等离子体光源相关论文
激光X射线源具有短脉冲,高亮度,光子能量可调、焦斑小等优点,已经应用于冲击波测量、ICF靶丸诊断、状态方程测量、RT不稳定性......
在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上,讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的等离子体LPP光源,着重对EUV光源的初......
首先介绍了投影光刻技术发展的历程、趋势和软 X射线投影光刻技术的特性 ,其次介绍了软 X射线投影光刻原理装置的研制工作。该装置......
基于软X射线辐射计量和极紫外投影光刻（EUVL）应用,研制了一台使用纳秒激光器的液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。该光源由......
为了进一步研究13．9nm类镍银和19．6nm类氖锗X射线激光，制备了工作在上述两个波长的Mo／Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方便的小......
在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上，讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的等离子体LPP光源，着重对EUV光源的初步......
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线-极紫外辐射.利用McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫......
基于Xe的惰性和在13~14 nm波段高的辐射强度,Xe被认为是极紫外投影光刻(EUVL)潜在的靶材,为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光......
为了进一步研究13.9 nm类镍银和19.6 nm类氖锗X射线激光,制备了工作在上述两个波长的Mo/Si多层膜反射镜。设计了结构简单、操作方......
