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PECVD氮化硅薄膜制备工艺及性能测试研究
氮化硅薄膜具有优良的光电性能和机械性能,在集成电路、微机械电子、太阳能电池以及显示器件领域都有着广泛的应用。等离子体增强......
学位
氮化硅薄膜
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