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甚高频等离子化学气相沉积相关论文

硅烷浓度对微晶硅太阳电池的影响

采用甚高频等离子化学气相沉积技术（VHF—PECVD）制备了系列p-i—n型微晶硅太阳电池，研究了电池有源层硅烷浓度的变化对电池性能的影响......

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