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传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测......
提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm×3.5 mm的敏感结构上,实现了单芯......
地面电场仪测量数据准确性和一致性会直接影响到其在研究区域大气电学和进行雷电预警工作的应用准确度。通过模拟理论计算和实际观......
介绍了电场测量传感器的标定原理和方法，进行误差分析并给出提高标定精度的措施。所设计的雷云电场传感器标定电场的范围为10V／m～50kV......
本文以新一代可视化工具Delphi为基础,建立了基于Delphi的电场标定上位机控制系统,编写了标定系统的控制界面,实现了实时显示电场......
