电场诱导氧化相关论文
基于AFM电场诱导氧化机理的研究已发展了近十年,但在实验和理论方面仍有不完善之处.该课题在理论上,研究了加工参数和环境参数对电......
论述了在大气状态下扫描隧道显微STM在Ti表面上的电场加工实验,并对作用机理进行了分析,确定表面结构的生成为准接触和电场诱导氧......
利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作,文中研究了原子力显微镜(AF......
扫描探针显微镜(SPM)家族的拓展始于扫描隧道显微镜(STM),它的发明使人类能够真正获得物质表面在原子尺度上的局域电子结构,并可揭......
利用导电原子力显微镜(AFM)在硅、其它半导体和金属表面的电场诱导氧化加工是实现纳米器件的有效方法.大气状态下样品表面吸附的水......
纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件,纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分.为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解,......