微机械超声传感器的应用十分广泛,尤其在医学成像和工业无损探伤等领域。至今,压电式微机械超声传感器的应用一直占据着统治地位。......

超声成像是现代医学成像的主要方法之一。与其他医学成像技术相比,超声成像技术对人体软组织的鉴别能力方面强且无电离辐射,应用广......

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超声成像技术广泛应用于医学、军事、工业、农业等众多领域,而超声传感器是实现超声成像的关键部件之一。基于MEMS技术的电容式微......

电容式超声传感器有可能取代压电式超声传感器,在超声成像领域受到极大的关注。目前,对采用牺牲层释放技术加工而成的电容式微机械......