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电容式高温压力传感器相关论文

基于碳化硅材料的电容式高温压力传感器的研究

针对现有的硅基高温压力传感器不满足更高温度环境(≥500℃)下测试需求的问题,设计并制备了一种基于碳化硅(SiC)材料的电容式高温......

期刊

微机电系统碳化硅电容式高温压力传感器直接键合 MEMS SiC capacitive high temperature pressure sensor d

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