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石英晶体谐振器的电极材料、电极尺寸和电极位置对谐振器性能有重要影响。由于加工和安装等考虑，电极一般不是对称布置的，但早期......
建立了一个MEMS膜开关电容比理论模型.由于这个模型比较全面地考虑了开关阈值电压、维持电压、偏置电压和介质膜内的电场强度等因......
根据气体放电特性和交流等离子体显示器的放电单元结构,提出了AC-PDP等效电路模型和表征该模型的3个特性参量:击穿电压、气体维持......
本文介绍了电容式射频MEMS开关的结构、工作原理和制造工艺流程,分析了开关的开启电压和电容比,最后描述了开关在移相器、可调谐滤......
微机械电子系统(MEMS)的研究深受关注。射频MEMS器件由于其尺寸小、重量轻、低损耗等优点而倍受重视,并且已经进入小批量商业生产......
