电容湿度传感器相关论文
采用湿法化学刻蚀方法制备硅纳米线（SiNWs）,对其进行快速热退火处理,利用水浴法在SiNWs表面生长氧化锌（ZnO）纳米线,制备了ZnO/SiNWs异......
利用双加热探空仪电容湿度传感器加热前后相对湿度和温度、露点、饱和水汽压间的关系,分析和建立了去除加热器影响的实际相对湿度......
CMOS集成湿度传感器是利用MEMS技术基于CMOS工艺的新型传感器,将传感器结构与接口电路集成在同一块片子上,具有体积小,价廉、可靠......
