微机械系统相关论文
在现代电子线路中,磁性元器件如电感以及由它组成的DC-DC变换器、滤波器和振荡器等是不可缺少的元器件。由于便携式电子产品的体积......
采用集成频闪成像结合显微干涉技术研制了微机电系统(MEMS)的静动态性测试系统。通过控制LD闪光的频率与MEMS器件激励信号的频率一......
高精度4硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,......
大量微结构实验表明，当结构的特征尺寸在微米或亚微米量级时其相应的力学特性表现出强烈的尺寸效应。本文基于应变梯度弹性理论和能......
基于微机械系统(MEMS)圆盘谐振器工作时阻抗大、振荡频率高以及寄生电容大的特点,设计实现了一款用于驱动MEMS圆盘谐振器的宽带高......
由 microstructured 粘合剂表面的最近的 biomimic 设计激发了，我们学习在一个终止电影的纤丝状的数组和僵硬底层之间的粘附。使用......
硅制的微机械元件,大多是用湿化学蚀刻法制成的,由于蚀刻率与取向有依赖关系,所以这一步的掩模设计要求许多经验,有的情况下要求......
文中介绍一种无接触测量机械部件微运动情况的光纤Michelson干涉测量方法的原理、实验装置和实验结果。根据计算和实验研究，对应不......
与光刻或电子束刻蚀相比，双光子光聚合作用建立在其三维能力的基础上，特征尺寸接近衍射极限，在光子器件和微机械方面有用。本文指出，利......
基于微机械系统(MEMS)的噪声估算,提出了一种可用于微机械系统的多芯片组件(MCM)封装技术,并对封装完成后的信号噪声、输入端相对......
据《中国电子报》2008年6月24日报道,亚微纳技术公司(AVZA)近日推出Versalis fxP系统。这是一个200mm/300mm集群系统,专为利用穿硅......
介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材......
模内微组装成型技术是有望成为规模化高效低成本产业化聚合物微小机械系统制造的有力技术。高分子聚合物材料因质量轻、耐腐蚀、绝......
航天、汽车、电子和家电等产品均具有集成微机械系统来实现传感器、执行器、信号处理和微能源等功能。微机械系统集成包含多种梁板......
研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动工作台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析。试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位精度......
介绍了一种制作含有固体润滑剂的自润滑微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有......
日前,根据中国科学院金属研究所新学科发展的需要,经中国科学院批准,依托于金属研究所的“沈阳界面材料研究中心”正式成立。中国......
针对基于位移电容转换方式的微机械系统中微小电容检测需要,设计了一种具有结构简单、工作频率低、对分布电容不敏感等优点的......
互联网的飞速发展对宽带通信提出的需求只能由光网络满足,这转而导致了前所未有的对光微机械系统(MEMS)的兴趣。从光纤光学的早期......
基于微机械系统(MEMS)技术的惯性导航系统(INS),在室内定位领域受到了广泛的关注.为解决其定位精度随时间发散的问题,学者们提出融......
随着微机械系统日益引起学术界的关注，微机械系统动力学的研究也日益提上日程。由于微机械系统中微观效应的影响，微机械系统的动力学......
介绍了Parylene三防膜形成机理,以及在微波器件、微机械系统、生物医学、磁性材料等方面的应用;指出了在使用过程中存在的一些问题......
这里,我们描述一组实验、在位测量和理论模型,用来评估集成多晶硅微机械的摩擦系数及其磨损.实验中使用了一个基于激光束的测量系......
本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）......
微机械的组装包括：部件制作，部件对准和部件焊接３个过程．本文针对微机械组装中最重要对准过程，给出了虚拟环境中拟实组装细化的操作步骤......
随着微／纳米技术的发展，微机械(MEMS)逐渐受到高度重视。微机械由于具有能在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航......
微机械技术是生物芯片微制作中的关键技术.近年来,微机械技术有了很大发展,应用领域也逐渐扩大,但是它的设计仍处于手工阶段,没有......
该文应用阵列式加速度传感器研究加速度场的分布.应用多元线性回归给出了在线性情况下,建立研究对象的加速度场的数学模型的基本原......
微机械系统（MEMS）以其微型化、集成化等优点，在汽车工业、生物医学、信息、军事和航天工程等领域具有极为广泛的应用和广阔的前景。然......
该文第一章对网络划分的各种方法做了比较分析,并提出了自己的算法,包括用格栅法进行布点;Delaunay三角剖分法连线;BubbleMeshing......
本文在充分调研和分析国内外微机械谐振器的研究现状，特别是硅基MEMS谐振器研究的基础上，开展了一种新型的电容极板间隙为亚微米的平......
该论文主要研究的是微机械器件的计算机辅助设计方法.该论文在详细研究微机械技术自身特点的基础上,提出了一个完整的微机械CAD软......
多孔硅具有独特的微观结构、大的体积表面比、特殊的半导体能带结构、良好的化学稳定性使其在SOI技术、微传感器技术等众多方面得......
微机械加速度计由微机械加速度传感器与外围检测电路两部分组成。微机械加速度传感器是微机械加速度计最核心的部分,对加速度计的......
针对微机械系统和精细加工技术中现有的振动测量方法存在易受电磁干扰、动态和线性范围窄等诸多问题,本文提出了一种基于一维位置......
该文系统全面地对准分子激光光束特性、准分子激光与物质相互作作、准分子激光微细加工工艺、加工装备及其在微机械系统制造领域的......
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电......
Goal Semiconductor公司最近发布了一款针对其HVDAC200-4开发的即插即用开发与评估系统.HVDAC200-4是一款高压、9位可连续调节的电......
调制器是光纤系统的重要器件。硅基微机械光调制技术使用常规硅平面工艺方法 ,制作较为简单 ,成本较低。同时 ,又具有高数据速率 (......
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基于应变梯度弹性理论,研究了静电激励MEMS微结构吸合电压的尺寸效应.利用最小势能原理分别推导出含尺寸效应的一维梁模型和二维板......
本文介绍了微型惯性测量组合系统的构成,姿态的解算算法和参数识别的卡尔曼滤波方程。提出了用四元素四阶龙格-库塔法作为捷联惯导......
微机械角速度传感器是目前市场上能够进行批量生产的最复杂的传感器之一。它由在真空中做复杂运动的惯性质量块和驱动该设备、分析......
