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真空物理气相离子沉积超硬薄膜技术及动向(下)

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蒸发材料薄膜技术电弧放电发射电极多弧离子镀电弧蒸发超硬电子束流阴极表面反应蒸镀

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采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层.研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦......

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氮化铬电弧蒸发相成分粗糙度硬度磨损

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