薄膜技术相关论文
磁控溅射是目前众多真空镀膜技术中具有显著优势的方法之一,与其他镀膜方式相比,这种技术在保证成膜质量的同时,可以有效提高沉积......
采用超声喷涂热解淀积方法将SnO:F透明导电薄膜制备于耐高温的硼硅玻璃管内壁.XRD物相分析及SEM、STM形貌分析表明,SnO:F薄膜为多......
本文以钛酸四丁酯Ti(OBu)为原料,用溶胶-凝胶方法在ITO玻璃上制备了均匀透明的聚氧乙烯(PEO)掺杂的PEO-TiO有机-无机复合涂层,研究......
利用电子回旋共振等离子体辅助反应脉冲激光沉积的方法制备了氮化碳薄膜.成分分析显示,制备的薄膜主要由C和N两种元素组成,其中N的......
本文阐述了介孔分子筛薄膜的各种制备方法,如水热沉淀法、旋涂法、浸渍法等,以及几种常见介孔分子筛膜的制备方法,介绍了介孔分子筛......
本文利用质量分离的低能离子束技术沉积得到了表面极为平整的类金刚石薄膜.样品用Raman谱和原子力显微镜进行了分析.并且研究了沉......
薄膜技术在原子钟方面应用广泛。本文对应用于铷钟的光学薄膜和应用于铯钟的二次电子发射薄膜进行了研究。首先进行了合理的膜系结......
Plasma, eYCited with microwave energy, has Very interesting properties which are in direct correlation with the eYCitati......
采用金属有机化合物分解(MOD)法制备出BiTiO介电薄膜.然后在560℃退火30min得到(111)取向的BiTiO薄膜.首次成功地对BiTiO薄膜进行......
绝缘体上的锗硅技术(SiGe on Insulator,SGOI)和以它为衬底开发的应变硅技术(Strained Silicon on Insulator,sSOI)融合了SiGe技术......
本研究在前期制备的Bi203薄膜的基础上,通过对其在酸性条件下氯化,制备了的BiOCl薄膜。其片状花瓣形微观结构不仅仅增大了表面积,同时......
时间:2021年11月15~17日地点:广州琶洲-保利世贸博览馆主办单位:特欧展览(上海)有限公司“2021广州胶粘带与薄膜技术展览会”将于2......
在人类社会经济高速增长的过程中,环境因素越来越为人们所关注。可持续性发展成为一个不可避免的选择。
在中国,这种发展方式更......
介绍了活性炭吸附、高级氧化、离子交换、增强混凝、生物活性炭与臭氧组合和薄膜技术等给水深度处理技术,并从技术经济角度分析各......
本文对ECR CVD沉积制备六角氮化硼薄膜进行了阐述。采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR CVD)系统,以逐层沉积技术(L......
原子频标是典型的量子电子学产物,它可以输出稳定的频率信号,在导航、守时、授时以及通信等国计民生的各个方面都有重要的作用。原......
薄膜,在现代科学技术中占据着重要地位,它是不少研究领域和技术领域所共同关心的课题.近十几年来,薄膜科学与现代固体物理的一个......
一、热电效应1.热电体 当温度发生变化时,能引起极化状态发生变化的晶体(或物质)称为热电体.例如,把电气石[(Na,Ca)(Mg,Fe)3B3Al6S......
海面油膜有减弱海浪的作用,这在几个世纪以前就为人们所发现并加以利用.富兰克林最先对此现象作过定性描述.以后,瑞利指出,这种悬......
一、真空蒸镀真空蒸镀的原理是在10~(-5)mmHg左右的真空中,加热金属或化合物并使其蒸发的原子或者分子沉积在被镀物体表面,凝结成......
目前,科学家们正设法将纯金刚石超薄膜镀在许多物体上,其结果将导致寿命很长的切削工具,防划痕透镜,防碎裂计算机磁盘,以及能经受......
近年来有机非线性光学材料的合成研究有了很大的发展。另一方面,为了适应非线性光学应用的特殊需要,即对分子有序取向和对材料具......
专注于纳米级聚四氟乙烯(PTFE)技术研发的上海卫风新材料科技有限公司成功开发出独有的核心技术——纳米级PTFE薄膜技术,并将相关产......
梁雅琪指出:“2015年展会的预订率非常理想,有几个主题专区,例如薄膜技术专区、塑料包装及吹塑机械专区已超额预订,而挤出机械专区......
作为社会经济发展的重要产业,汽车制造业承担着节能减排、减少污染的重大责任。汉高Bonderite~?M-NT1820表面预处理技术,也被称作薄......
推导出常压化学气相淀积多晶硅膜的计算机模拟算式,并进行了计算机模拟计算。在理论计算的基础上,用硅烷热分解,制备了均匀性较好的用......
本文介绍了用sol-gel方法制备PZT铁电薄膜的工艺,并指出采用快速热处理工艺能有效地防止薄膜开裂。比较了用3种不同锆盐原料制备的PZT薄膜的性能。......
深圳市真空学会第二届学术年会在深圳召开真空电子学会真空技术应用专委会第三届学术年会暨深圳市真空学会第二届学术年会于1996年4月10~14日......
自从发现多孔硅室温发射可见光现象以来,硅基纳米结构第Ⅳ族半导体发光研究引起了广泛关注。这不仅可以使传统的、成熟的硅平面工......
CO/Ti/Si或TiN/Co/Ti/Si多层薄膜结构通过多步退火技术在Si单晶衬底上外延生长CoSi2薄膜,AES、RBS测试显示CoSi2薄膜具有良好均匀性和单晶性.这种硅化物新技术已用于CMOS器件工艺......
对采用快速加热、超低压-化学汽相淀积(RTP/VLP-CVD)技术生长的Si0.8Ge0.2/Si应变外延层进行硼注入,注入能量为40keV,注入剂量为2.5×1014cm-2。然后,进行不同时间、不同温度的快热......
主要讨论薄膜气敏元件加热电阻的设计及功耗的计算,同时也讨论加热电阻材料必须具备的条件。根据传热学原理,推导出计算功耗的表达式......
激光分子束外延及其在原子水平生长BaTiO_3薄膜中的应用崔大复,王会生,马昆,陈正豪,周岳亮,吕惠宾,李林,杨国桢(中国科学院物理研究所北京100080)原子水平......
介绍了一种利用激光化学气相沉积(LCVD)技术,在平面石英玻璃衬底上沉积平凸形Si3N4球面介质膜用作微透镜,包括LCVD的实验装置及其沉积......
报道了全介质窄带波光片中心波长的变化特性,给出了探测氧分子谱线的0.763nm窄带滤光片的制备和中心波长的变化结果
The variation charac......
报道了反应溅射沉积TiO2薄膜,得到TiO2薄膜的特性如沉积速率、透射率、导电性能、吸收系数等与反应气体的流量、溅射功率有关。通过控制氧气......
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
Described th......
利用高等离子体密度、高电子温度和高离化率的ECR微波等离子体增强二极溅射、磁控溅射反应沉积金属氨化物薄膜。实验结果表明,ECR微......
第十五届全国薄膜技术学术研讨会于2015年8月21-24日在武汉华中科技大学举行。本次会议由中国真空学会薄膜专业委员会和中国硅酸盐......
作为中国最早、规模最大的薄膜装备制造商,金明精机一直掌握着多层共挤薄膜技术的先进制造工艺,同时引领国内行业技术创新。随着整个......
提供了一种用等离子体聚合制备金属- 有机化合物CuAA 薄膜的实验研究。指出CuAA薄膜随工艺条件的不同可呈现出不同的颜色和电性能,尤其是其电......
由中国真空学会薄膜专业委员会主办 ,并由中国电子学会半导体与技术学会、电子材料学会、量子电子学与光电子学学会、中国光学学会......