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电极布线材料相关论文

集成电路电极布线用铝合金薄膜及其溅射靶材

近年来，铝合金薄膜广泛用作半导体集成电路的电极布线材料。作为制备溅射薄膜材料的铝合金靶材也获得了相应的应用。本文介绍了集成......

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铝合金薄膜溅射靶材集成电路电极布线材料 Aluminum alloy films Sputtering targets Wiring of IC

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