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电源放电相关论文

磁控溅射离子镀脉冲靶电源放电特性及其参数对镀层显微结构的影响

本文研究了靶电源不同峰值电压及脉冲宽度条件下，MSIP016型磁控溅射离子镀工作时的电压、电流波形及伏安放电特性曲线。并选定不同......

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