电致化学抛光相关论文
电致化学抛光（Electrogenerated Chemical Polishing,简称EGCP）是一种新的超精密无应力平坦化加工方法,该方法通过电化学氧化将抛光......
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超平滑无损伤铜表面的超精密加工技术在微电子器件和微机电系统制造中具有广泛的需求。目前,化学机械抛光作为常见的超精密加工技......
电致化学抛光加工是一种新的表面超精密加工方法,该方法通过电化学氧化将抛光液中的电活性中介体氧化成刻蚀剂,对工件进行刻蚀加工......
电致化学抛光是一种超光滑超平整表面的无应力加工方法,加工工具是大面积液浮平面电极,其稳定性是影响加工质量的最关键因素。研究......
电致化学抛光是通过电化学反应生成刻蚀剂并利用扩散控制反应实现工件表面无应力抛光的新方法,抛光液的特性则是实现扩散控制反应......
