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电铸填充相关论文
添加剂对纳米压印模板光栅结构填充效果的改善作用
为改善电铸填充高深宽比纳米光栅结构时出现的空洞现象,本文向电铸液中添加平整剂健那绿,利用健那绿分子的静电吸附原理消除该工艺......
期刊
纳米压印
纳米光栅
电铸填充
健那绿
静电吸附
镍模板
高深宽比
纳米沟槽结构电铸填充工艺研究
纳米压印光刻技术与传统的复杂光学光刻相比,具有超高分辨率、产量高和成本低等优点,因此被誉为纳米结构制作最具发展潜力技术之一......
学位
纳米压印
镍模板
电铸填充
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