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界面阻挡层相关论文
β-FeSi2基热电材料的制备、微观结构和性能研究
随着环境问题的日益严重和能源危机的不断加剧,寻找绿色新能源迫在眉睫。基于泽贝克效应和佩尔捷效应,热电材料可以直接实现电能与......
学位
热电材料
β-FeSi2
反应机理
掺杂
固溶
重元素
元素分布
界面阻挡层
溅射铜和铜合金薄膜的微观结构与性能
随着集成电路制造工艺的发展,铜由于具有低的电阻率和较高的抗电迁移能力而逐渐取代了铝作为互连线材料。当互连线特征尺寸减小到0......
学位
铜合金薄膜
界面阻挡层
热稳定性
孪晶
电迁移
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