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疵病检测仪相关论文
大口径球面/非球面疵病检测仪结构设计及实验研究
随着超精密光学技术的发展,球面/非球面光学元件的应用日益广泛,同时超精密光学元件表面疵病检测的要求也越来越高,因此能够对大口......
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疵病检测仪
精密仪器
机械结构设计
运动学模型
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光学元件表面疵病检测仪的精度建模及预测
为了对疵病检测仪的精度进行预测并对设计方案的合理性进行验证,基于多体系统理论对疵病检测仪机械运动机构进行了精度建模。用低......
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疵病检测仪
多体系统
精度模型
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