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白光光谱干涉相关论文
基于白光光谱干涉技术的薄膜测量方法研究
薄膜作为一种特殊的结构,具有与块状材料不同的独特性能,在光学、信息、生物、航天等领域得到广泛应用。薄膜的各种特性直接决定着......
学位
薄膜测量
白光干涉
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相位提取
优化算法
Linnik型显微白光光谱干涉测量方法的应用研究
随着科技的发展,微纳米加工技术的不断进步,对于微纳米结构相关参数的高精度测量成为了研究的热点。为了使微纳米器件能实现功能,......
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Linnik
白光光谱干涉
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光谱同步相移干涉
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