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直流磁控溅射工艺相关论文

直流磁控溅射工艺对ZnO薄膜结构影响的研究

ZnO是一种新型的Ⅱ—Ⅵ族直接带隙化合物材料，是一种很有潜力的短波长光电器件材料。当ZnO薄膜具有良好的c轴取向和晶格结构时，可得......

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直流磁控溅射工艺 ZNO薄膜薄膜结构基片温度 C轴取向晶格结构退火氩氧比结晶质量 ZnO films substrate temperature c

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