石英MEMS加速度计相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

石英MEMS加速度计相关论文

小量程窄带宽石英微加速度计敏感元件设计

为满足对振动环境下10Hz以下低频小量程加速度信号的高精度测量需求,设计一种具有窄带宽特点的新型石英MEMS加速度计敏感元件。敏......

期刊

石英MEMS加速度计窄带宽梳齿电容有限元分析 Quartz MEMS accelerometer Narrow bandwidth Comb capa

看过本文同时还关注