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石英晶体荡法相关论文
薄膜厚度的多探头计算机实时测控系统
阐述了用声阻抗法实时监测薄膜沉积的原理,介绍了一种使用个人计算机的实时测控系统。它可在真空镀膜的过程中对膜厚进行实时测量和......
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