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近年来,磁性研磨机(包括试验样机)的研究开发取得了一定进展.研究表明,磁性研磨过程的振动运动有利于提高加工效率和加工质量,而完......
目的：介绍一种新型中药研磨装置。方法详述本新型中药研磨装置的结构，工作原理极其临床应用效果。结果经过临床使用效果比较证明，本新......
采用磁力研磨技术进行Al_2O_3-TiO_2陶瓷涂层的精密加工,设计了平面陶瓷研磨的试验装置,通过研究磨粒粒度等参数对表面粗糙度的影......
阀座是紧急卸荷阀的核心部件,如何保证其加工精度、表面粗糙度精度、形位公差精度很重要,如何提高生产效率和加工质量,是当前需要......
磁力研磨是利用磁性磨料和磁场作用进行研磨加工的一种研抛技术．讨论了不同研磨头形状对磁力研磨的影响以及研磨头设计的要点．在五自......
随着半导体技术的不断发展,集成电路的互连线尺寸不断减小,Cu-CMP已经成为深亚微米工艺中的重要技术。分析了由于研磨头固定环上的......
随着半导体技术的不断发展,集成电路的互连线尺寸不断减小,Cu-CMP已经成为深亚微米工艺中的的重要技术。本文主要分析了Cu-CMP后Cu......
研磨是一种精密加工方法,本文介绍了研磨剂及其选择,圆柱孔和圆柱外表面的研磨以及轴孔配研等工艺与研磨工具。图9,表1。......
在铜CMPI艺中，为了去除多余的铜金属而形成嵌入式铜互联结构，分别应用电磁和光学信号于第一和第二阶段的研磨终点控制。工艺如图1所......
