硅V型槽相关论文
集成光学器件已在许多领域得到了应用,对所有的光学器件,光纤与芯片之间的耦合都是一大难题,这是因为耦合的对准精度要求十分严格.......
本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件......
阐述了一维光纤阵列的研制方法,分析了V型槽法中硅V型槽腐蚀机理,计算了V型槽的开口及间距与光纤半径及纤芯截面圆心距的关系,给出......
