硅加工工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

硅加工工艺相关论文

电磁式微机械陀螺检测电路设计

微机械陀螺是硅加工工艺与机械制造相结合的产物,作为惯导系统组成部分,微机械陀螺在军事和民用中得到广泛应用。精确测量是微机械......

学位

微机械陀螺检测电路同频干扰测试转台

混合硅激光工艺带来了先进的光子芯片

采用标准的硅加工工艺,Intel公司和加州大学的研究人员开发出了一种新技术....

期刊

激光工艺光子芯片硅加工工艺人员开发加州大学新技术标准

一种微电解池式微流量传感器的研制

基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器.由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时......

期刊

微流量传感器微电解池微电极 CFX仿真硅加工工艺

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