硅化镍相关论文
量子力学中的一个最超乎直觉的结论是粒子具有波动行为。这种波动特性看来不仅对基本粒子（如绕核旋转的电子），而且对于自由粒子束也存......
诺发系统有限公司近日推出了SOLA业界首套针对先进介电薄膜的淀积后处理的紫外热处理(UVTP)系统。SOLA为300mm晶圆的大批量生产而......
过渡金属硅化物由于其特殊的物理和化学性能,被广泛应用于高温涂层、磁性材料、热电材料、微电子材料等领域,其纳米材料更是在涉氢......
学位
随着能源危机和环境污染的恶化,太阳能作为一种清洁的可再生资源已经备受关注,而硅材料作为太阳能光伏产业的重要原料,尤其是高纯......
美国超微半导体(NYSE:AMD)的研发人员日前在日本京都举行的积体电路研讨会上详细介绍了多种目前最高性能的电晶体。由于电晶体是......
利用固态相变原理,采用常规设备和真空保护气氛两步热处理方法,在硅单晶衬底上形成大面积连续、均匀的二硅化镍单晶薄膜.应用电子......
CMOS晶体管的总电阻由沟道电阻Rch和源漏区寄生电阻RSd组成。在90nm技术节点之后，沟道电阻逐渐减小，而源漏区寄生电阻逐渐增大。到了......
学位
利用在线应力测试技术表征了掺入Pt后对镍硅化物薄膜应力性质的影响.通过改变NiSi薄膜中Pt含量以及控制热处理的升温、降温速率实......
提出了“自上而下”制作硅化镍纳米线的方法，研究了制备出的纳米结构的形成过程及微观形貌。这种金属硅化物纳米线的制作方法对于集......
研究了Ni/Pd双层薄膜在硅衬底上的硅化物形成过程。结果表明，加入Pd层后，退火形成Ni1－xPdxSi固熔体，该固熔体比NiSi的热稳定性好，使得Ni......
利用在线应力测试技术表征了掺入Pt后对镍硅化物薄膜应力性质的影响．通过改变NiSi薄膜中Pt含量以及控制热处理的升温、降温速率实时......
In-Situ Rs and Improvement in Thermal Stability of Nickel Silicides Using Different Interlayer Films
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采用燃烧合成方法制备低放热反应体系的Ni3Si和Ni3(Si0.9,Ti0.1)合金粉体材料,研究了球磨时间、预热温度、合金化元素Ti对燃烧合成......
