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硅基微结构气体传感器相关论文
硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析
利用金属铂的热阻、热敏特性, 以及SiO2和SiNx良好的绝热、绝缘特性, 设计一种以铂丝为加热层, 叉指状的金电极为敏感膜信号电极, ......
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