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硅微梁相关论文
新型压阻式MEMS温度传感器的理论研究
温度是最基本的物理量之一。随着社会的发展,在科学研究、工农业生产、日常生活等许多领域都涉及到温度的测量和温度传感器。由于M......
学位
温度传感器
压阻
硅微桥
聚合物薄膜
复合梁
硅微梁
MEMS
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