压阻相关论文
作为可穿戴电子器件的核心部分,柔性压力传感器备受学术界与工业界的关注。由于碳纳米材料具有优异的导电性能和机械性能,且价廉易......
类金刚石（Diamond-like carbon,DLC）薄膜具有优异的力学、摩擦、光学等性能。此外,DLC作为微技术应用中的压阻材料有很大的潜力,相比......
阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中......
相比普通的金属和无机材料,高分子材料具有质量轻、柔韧性好、易成型加工的特点。为了满足快速增长的不同领域的材料应用需求,使用......
分析压阻传感器灵敏度温漂特性。根据灵敏度与温度成指数或近似线性的关系，设计两种实用温度补偿电源，实现对灵敏度温源的补偿。
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本文主要论述了为提高力敏器件的性能和可靠性,进行温度补偿和非线性补偿的工作原理。结合理论计算和实验结果给出外围电路设计的......
Y2002-63234-275 0300334提高大规模集成电路成品率故障分布特征算法=CharacteriFation algorithm of failure djstribution for ......
扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中 ,而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的 ,并具有优于其他传......
随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢......
水热法制备的纳米钌在空气中600℃退火30min获得粒径小于20nm金红石结构的导电二氧化钉.为了提高导电粒子在硅橡胶中的均匀分布,用......
本文介绍了硅压阻式力学传感器原理以及压阻内在噪声和温度对传感器性能的影响。简要分析了微弱信号提取和温度补偿的技术与方法,......
介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之......
日前，沈阳仪表科学研究院有限公司与沈阳工业大学联合申报的“高固有频率纳米膜乐阻加速度传感器研究”项目获得立项批复，项目总经费......
设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺.陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测.主梁、微梁-质量块......
介绍了一种新型的基于陶瓷基片加工工艺的π形梁15 000 m/s2厚膜压阻式加速度传感器.在加工过程中采用厚膜工艺与梁加工成型工艺,......
压阻式微机械陀螺是MEMS研究的重要方向之一,有效的接口电路是发挥陀螺性能的重要保证。用数学方法完整地推导了陀螺驱动和信号检......
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技......
为了研究磁致伸缩/压阻块状复合材料的磁阻性能,采用Terfenol-D磁致伸缩材料和单晶硅压阻材料层状复合,制备了复合磁阻材料.使用霍......
本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱和支撑梁构成,这......
采用旋涂工艺,制备了硅橡胶-纳米石墨片复合薄膜.采用SEM,XRD手段,表征了薄膜的组织和相结构,并测量其电性能.结果显示,纳米石墨片......
阐述了低温储罐注液后自增压器的初始启动过程及其设计原理,提出了设计步骤并进行了试验研究和公式推导.得出了低温液化气储罐自增......
基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽......
研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式......
MEMS矢量水听器作为水下目标探测的重要组成部分之一,逐渐成为水声探测研究的重点领域。MEMS矢量水听器具有很多优势,如重量较轻、......
非晶碳薄膜是一种长程无序、短程有序结构的材料,兼具金刚石与石墨的优良特性,在光学、电学、力学、热学、化学稳态等方面表现优异......
在Fuchs-Sondheimer(F-S)薄膜理论的基础上,通过求解弛豫近似下的Boltzmann方程,求出了P-型金刚石膜的电导率.在价带分裂模型下得......
对MAX1457压阻式加速度传感器的智能化补偿方法作了介绍。针对MAX1457的特性，开发了补偿硬件和软件。该系统的开发和使用，使得MAX145......
研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响，建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型，分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相......
为满足三维微力测量的需求，以MEMS体硅压阻工艺技术为基础，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻......
采用压制成型方法，制备了碳纤维硫铝酸盐水泥基复合材料（carbon fiber reinforced sulphoaluminate cement composites，简称CFSC），研究......
对多壁碳纳米管膜加速度传感器进行了实验研究.结果发现,室温下,多壁碳纳米管膜的电阻变化率随向心加速度的增加呈线性增长,向心加......
1986年原子显微镜的发明在生物技术和纳米技术领域内产生了新的传感技术:悬臂梁。由于这种技术对所检测的样品具有高度敏感性，目前......
基于MEMS的微悬臂梁生化传感器具有使用便捷、高灵敏度、无需标记及实时监测分析等方面的优点。该类型传感器在生物分子识别、抗体......
为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响，采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试．在各步骤热过程后，对3种衬底条件下压阻区、引......
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风速风向的测量方法多种多样,从传统风杯测量仪到超声风速计到新型热线风速风向仪等等。随着微型制造技术理论越来越成熟,随着制造......
通过实验介绍了整车在碰撞过程中传感器电缆线的动态性能对信号的影响,特别是在高速整车碰撞工况下电缆线产生的干扰信号.通过冲击......
设计并制备了一种基于SOI（silicon on insulator）材料的MEMS压阻式高温压力敏感芯片。在设计方面,通过理论计算与仿真,对敏感芯片各......
基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器。为了满足小体积和高性......
通过设计一个量程为15万克、抗过载为20万克的抗高过载能力的MEMS加速度传感器,分析了多种传感器的利弊,选择压阻式加速度传感器作......
本文研究了一种利用压阻原理检测相对湿度的传感器结构。改进了压阻结构,在压阻的拐弯处用Al引线代替浓硼掺杂,避免了拐弯处压阻的......
提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀,导致双膜结构发生弯曲产生应力......
综合分析了敏感元件构形与尺寸及传感器的封装结构对动态压力测量的影响。给出了几种ＣＹＧ压阻式压力传感器在动态压力测量时的频响特性......
我们对柔性挤压应力传感器 ,炭黑 /硅橡胶复合材料的压阻特性进行了研究 ,提出了其压力 -电阻的简化理论计算公式。实验研究表明 ,......
从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外......
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