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硅烷馈入方式相关论文
硅烷馈入方式对微晶硅薄膜光发射谱和结构的影响
采用SR500光谱光度计对甚高频等离子体增强化学气相沉积本征微晶硅薄膜过程进行了在线监测,分析了硅烷不同注入方式对等离子体光发......
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