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硅纳米墙相关论文
提高硅纳米墙光电器件背部欧姆接触的超声修饰方法
提供了一种硅纳米墙结构器件的背面电极接触改善方法.通过利用超声的方法修饰金属催化法制备的硅纳米墙结构,并制备了AZO/硅纳米墙......
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超声修饰
金属催化法
硅纳米墙
欧姆接触
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metal assisted etching
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