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西安理工晶体科技有限公司的TDL-GX 31C型硅芯炉荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖....
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控......
在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上，重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统，并对控制系统硬件设计和软件设计进......
高频电源是硅芯生产设备中的重要组成部分。目前硅芯炉都具备单炉次拉制多根硅芯的能力。与早期拉制单根设备相比需要母料的体积加......
介绍了早期硅芯炉速度控制单元,此单元多采用直流伺服控制系统。由于其中间环节复杂,信号传输慢,易受干扰,长期使用稳定性差等问题......
多晶硅是单晶硅生产中必不可少的主要原料,硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。而硅芯炉,主要用于生产多晶硅载体-硅芯。硅芯......
