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硅部件相关论文

集成电路刻蚀用硅部件加工及最新发展

集成电路芯片28 nm以下特别是7 nm线宽不仅对大硅片各项性能要求越来越高,对刻蚀机上用的硅部件也提出了更严格的要求,例如硅环表......

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刻蚀硅部件硅环硅电极磨削机械损伤 EtchSilicon PartsSilicon RingSilicon ElectrodeGrindingMech

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