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碳化硅单晶片相关论文

SiC单晶片化学机械研磨试验研究

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期刊

化学机械研磨研磨液碳化硅单晶片材料去除率表面质量 chemical mechanical lapping grinding liquid SiC s

固结磨料研磨SiC晶体基片研究

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学位

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