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离子轰击碳膜形成碳尖端的研究
用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si衬底上制备了碳尖端.利用原子力显微镜和显微Ra......
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碳尖端
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化学气相沉积
离子轰击
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