离子束溅射镀膜相关论文
TiO2薄膜由于具有高的折射率，低消光系数，并且在可见光和近红外都有很高的光学透过率，是一种理想的光学材料。结晶后有三种相：金红石、......
采用离子束溅射在不同的工艺参数下制备一系列单层Mo膜、Si膜及多层膜,并用原子力显微镜分析单层膜表面粗糙度及两种材料间的界面......
