离子束抛光相关论文
随着现代光学系统性能的日益发展,空间目标识别、激光物理聚变、国防武器装备以及紫外和深紫外光刻等技术对超精密光学器件的要求......
针对离轴抛物面镜离子束修形过程中存在的热效应累积和迭代加工效率问题，提出了将总去除量按一定比例划分的分批次加工与变束径加工......
随着高新技术的快速发展，对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求，传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精......
电化学抛光具有效率高、成本低、抛光效果好的特点,是钛合金的常用表面抛光方法,广泛应用在生物医用钛合金的表面处理。本文采用电......
为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除......
为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜，提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离......
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,通常需要对原始面形误差数据进行边缘虚拟延展。要求原始面......
随着现代光学元件制造技术的不断发展和社会需求的日渐提升,无论是以强激光、短波光学为代表的工程光学,还是以大规模集成电路为代......
随着现代光学技术的发展,光学加工水平也有明显的进步。一方面是对更大尺寸的光学元件能够实现更高水平的加工精度,另一方面是对光......
单晶硅反射镜是高能激光系统中的重要元件,其加工质量直接影响着高能激光系统的整体性能指标.针对单晶硅反射镜加工过程中产生的各......
超导纳米线在各类超导热响应探测器中得到广泛应用。超导纳米线响应光子后由超导态转变为电阻态产生热效应是这类探测器的关键机制......
离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤.......
在光学离子束抛光工艺中,驻留时间求解是一个关键问题.多数驻留时间求解算法要求离子束在工件表面的材料去除速率在加工过程中保持......
从理论上建立了离子束抛光中切向定位误差对加工残差影响的模型,分析发现了该误差对加工残差的影响与面形的梯度有关。特别地分析......
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一......
根据自行研制的法拉第杯对离子束抛光(IBF)机床中离子束束流密度进行检测,通过束流密度检测实验与去除函数实验的对比,验证了该法......
离子束抛光技术的关键在于对驻留时间进行求解，通常通过反卷积运算来完成。这在理论上可以实现，但是当需要加工量很小或趋于零时，加工......
为了研究离子束抛光KDP晶体工艺参数对表面粗糙度的影响,实现对KDP晶体的抛光,文中使用微波离子源对KDP晶体进行抛光加工,采用非接......
为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,......
在离子束抛光设备研制过程中,离子源扫描运动方式的选择是很关键的,一般分为直角坐标方式扫描和极坐标方式扫描两种。根据两种扫描......
在离子束抛光工艺中,驻留时间的求解是很关键的。通常求解驻留时间的时候,是用理想的高斯函数来近似实际的加工函数。如果使用实际......
离子束加工技术是在计算机控制光学表面成形理论基础上利用离子束轰击光学元件表面的一种高精度抛光方法,具备精度高、零接触、零......
随着高技术光学装备性能的不断提升,光学系统对光学零件制造的面形精度和表面质量提出了更为苛刻的要求。应用于高功率激光系统的......
本文介绍了射频(Radiofrequency,RF)感应耦合等离子体(Inductivecoupleplasma,ICP)离子束源的设计研究。该射频离子束源可工作于Ar......
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随着装备性能需求的不断提升,现代光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限,亚纳米精度表面制造将成为国家......
磷酸二氢钾(KDP)晶体是一种优质非线性光学晶体,是当前唯一可用作惯性约束核聚变装置(ICF)、强激光武器等光路系统中的激光倍频和......
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在离子束抛光工艺过程中,材料确定性去除特性对预测光学元件的各工位材料去除量和驻留时间具有极其重要的作用。采用射频离子源对......
随着现代光学技术的发展，全频段误差控制已成为高精度光学零件制造的一个基本要求。基于小磨头抛光原理的先进修形技术虽然能有效修......
介绍了某型号航天相机中一块Φ305mm大相对孔径(F#1.3)二次凸非球面反射镜的离子束抛光工艺方法。通过去除函数长时间稳定性分析实......
由于传统的离子抛光工艺采用的确定去除函数的方法操作复杂且成本很高,本文提出了利用法拉第杯对离子束流空间分布进行测量、标定......
【正】在科学和工程技术领域,超精密光学元件的制造技术正在成为关注的热点,其发展把超精密制造技术推进到传统机械制造不可企及的......
目的为解决光学元件表面进行离子束抛光加工过程中存在边缘效应的问题。方法采用将驻留时间网格在面形采样网格的基础上进行延拓的......
研究了三轴离子束系统抛光大口径高陡度离轴非球面过程中镜面曲率变化对离子束抛光去除函数的影响。提出了利用修正矩阵修正各驻留......
纳米精度光学表面在光刻技术、同步辐射、空间观测和惯约聚变等领域有重大需求。随着装备性能需求的不断提升,这些光学系统对光学......
离子束抛光(又称离子束腐蚀加工或离子束铣削加工)是六十年代末正式研制成功的精密加工新技术。七十年代以来,美国国防部门和民用......
随着现代科技的发展,大口径光学系统广泛应用于空间科学研究、天文光学、地基空间目标探测与识别等高科技领域。目前大口径光学系......
随着光学技术的快速发展,高性能光学系统在国防、民用和生物医疗等领域的应用越来越广泛,对精密光学元件的需求日益增加。离子束抛......
为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出了离子束去除函数;以去除函数的均方根值?为分析对象,分析了不同叠加间距下离子束等量去除......
前言国外光学零件加工工艺在60—70年代有长足的进展。首先,在传统的粗磨、精磨、抛光工艺不断改善的基础上,建立了精密零件高速......
针对光学元件高精度确定性加工，提出并实现了基于自适应步长算法实现离子束抛光轨迹段划分及进给速度求解。首先，对常规的等步长算法......
针对化学气相沉积碳化硅平面反射镜的材料特性与技术要求,制定了"传统研抛+离子束抛光"的工艺方法,并在一块口径为100mm的试件上进......
