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离子注入诱导无序(IICD)相关论文
离子注入诱导无序及无杂质空位扩散方法改变InGaAsP/InP多量子阱材料带隙的研究
实现半导体光子集成(PIC)和光电子集成(OEIC)的关键问题是工艺上如何采用简单可靠的方法,在同一衬底上制成具有不同禁带宽度的光电......
学位
量子阱混合(QWI)
无杂质空位扩散(IFVD)
离子注入诱导无序(IICD)
带隙蓝移
光荧光谱(PL)
等离子增强化学气相沉积(PECVD)
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