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离子速淀积相关论文
用于光学涂层的离子辅助反应淀积工艺
主要介绍几种离子化制备薄膜的方法,其目的是评述用于制备低损耗光学涂层的低能反应工艺和等离子体工艺的优劣。......
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离子辅助淀积
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