离面运动相关论文
数字图像相关(DIC)技术本质上是一种图像处理技术,除了具有非接触、全场测量的能力外,它还具有一些特有的优点,如:实验装置简单、......
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微......
期刊
MEMS 动态测试技术，因其能够测试 MEMS 三维运动，分析 MEMS 动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为 MEMS 测试技术的......
为了测量微结构离面(Out-of-plane)运动特性,利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统,首先采集微结构运动周期内不......
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微......
微机电系统（MEMS）动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位．提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法．该系......
MEMS技术应用日趋广泛,但相对落后的测试手段成为MEMS技术发展的瓶颈。研究如何在MEMS运动过程中记录瞬间运动状态,并恢复MEMS表面......
提出一种基于傅里叶变换的频闪显微干涉测试方法,对微谐振器和微悬臂梁的离面运动进行测试研究。微结构受激励产生周期离面运动,单......
