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飞秒脉冲激光空间光场调控的微透镜阵列制备技术进展
作为最基本的微光学元件,微透镜在多个领域都有非常广泛的潜在应用,然而常见的面向透明硬脆材料微透镜的制备方法效率低下,且对作......
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飞秒激光
湿法刻蚀
空间光场调制
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