等离子体过程相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

等离子体过程相关论文

氮气电容耦合射频辉光放电二维PIC/MC模拟研究

氮气射频放电等离子体广泛应用于氮化物合成及表面氮化技术，氮射频等离子体气相沉积是一项很有潜力的技术。为了提高应用效率和质量......

学位

氮气射频放电等离子体过程 PIC/MC模拟电子碰撞电离率

等离子体过程结合化学吸收脱除烟气中的NOx

研究用等离子体过程诱导H2O-O2自由基簇射技术,结合化学吸收脱除烟气中NOx.研究表明:通过调节喷嘴电极氧气流量,可得到稳定的流光......

期刊

等离子体过程自由基反应器化学吸收烟气NOx脱除

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