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随着高科技的发展,对精密元件表面的质量要求越来越高。元件表面的划痕、麻点、破边等缺陷会对经过它们的光造成不同程度的散射,不......
疵病的检测是精密元件质量检测的主要项目之一。精密表面疵病对光学元件的影响首先表现为散射,并在系统中造成一个连续效应,引起其......
本文介绍了一种名为Nanostep的触针式精密表面測量仪器,它具有极高的热稳定性,动态測量范围为50nm～50mm。文中讨论了仪器的噪声、直......
