紫外显微镜相关论文
紫外显微镜因为采用波长较短的紫外光作为照明光,所以其与传统光学显微镜相比具有更高的测量分辨率,从而被广泛应用于微纳几何尺寸......
针对目前紫外光学显微镜的测量值无法直接溯源至国际长度基准SI单位的问题,对中国计量科学研究院正在研制的紫外光学显微镜微纳线......
248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率，可以实现对掩模板的线宽和一维／二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm......
计量型紫外光学显微镜采用248nm深紫外光源和高数值孔径物镜系统，工作距离和景深均很小，为实现清晰的成像，需要进行自动聚焦。因此研......
