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线宽校准相关论文

248nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率，可以实现对掩模板的线宽和一维／二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm......

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计量学 248 NM 紫外显微镜线宽校准栅格标准物质 Metrology 248 nm Ultraviolet microscope Linewidt

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