纯钽相关论文
本文利用等径角变形（ECAP）和液氮温度下轧制（LNR）的复合工艺对纯钽进行塑性变形,制备了具有纳米层片结构的块体纯钽。通过电子背散射衍......
本文研究了冷变形与热处理工艺对纯钽(Ta)磁控溅射靶材的晶粒与织构的影响,纯钽靶材主要用于先进半导体技术中铜互连线与硅基底的......
本文利用等径角变形(ECAP)和单向轧制复合工艺对纯钽进行塑性变形,通过控制挤压道次、轧制压下量及轧制温度等变形条件来获得片层......
将87%单向轧制钽板分别在800℃预退火0min、5min、15min和30min,然后把所有样品在1200℃退火30min使其发生完全再结晶。采用电子背......
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