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纯铝薄膜相关论文

磁控溅射成膜温度对纯铝薄膜小丘生长以及薄膜晶体管阵列工艺良率的影响

纯铝薄膜被广泛用作TFT LCD的金属电极,但纯铝薄膜在热工艺中容易产生小丘,对TFT的阵列工艺的良率有较大影响.本文用磁控溅射的方......

期刊

薄膜晶体管阵列工艺磁控溅射纯铝薄膜小丘量产良率

基于鼓膜法的薄膜力学性能测试研究

采用自行研制的鼓膜实验装置,结合迈克尔逊激光干涉位移测量技术,获取薄膜的变形值与压力值之间的关系曲线,以实现薄膜试样力学性......

期刊

鼓膜实验力学性能弹性模量悬空薄膜激光干涉法纯铝薄膜

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